Βιομηχανικό σύστημα επεξεργασίας λέιζερ Excimer. Ευέλικτη ολοκλήρωση παραγωγής και πλήρως προσαρμόσιμες παραμέτρους.
Βιομηχανικό σύστημα επεξεργασίας λέιζερ excimer
,ευέλικτη γραμμή παραγωγής λέιζερ excimer
,προσαρμόσιμες παράμετροι μηχανής επικάλυψης UV
Αυτό το βιομηχανικό σύστημα επεξεργασίας λέιζερ εκκιμερ είναι σχεδιασμένο για υψηλής ακρίβειας μικροπλαστική, αναψύκωση ημιαγωγών και διαμόρφωση λεπτών ταινιών.Υποστηρίζει πλήρη ενσωμάτωση σε αυτοματοποιημένες γραμμές παραγωγής με παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνοΤο σύστημα διαθέτει μια πηγή excimer που σφραγίζεται από αέριο με μακρά διάρκεια ζωής και έλεγχο διαδικασιών με υποστήριξη τεχνητής νοημοσύνης.
- Μονάδα πηγής λέιζερ εκκιμητή
- Μονάδα διαμόρφωσης και ομογενοποίησης δέσμης
- Στάδιο υψηλής ταχύτητας σάρωσης XY ή μονάδα προβολής μάσκας
- Ρομπότ επεξεργασίας ενσωματωμένου υποστρώματος (προσαρμόσιμο πλάτος τροχιάς)
- Σύστημα διαχείρισης καυσαερίων και αερίων
- Ελεγκτής διαδικασίας PC με διαχειριστή συνταγών
| Παράμετρος | Περιοχή τιμών (Κανονική) | Επιλογή προσαρμογής |
|---|---|---|
| Διάστημα κύματος | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Εναλλακτικό διακόπτη πολλαπλού μήκους κύματος (προσαρμοσμένο) |
| Μέγιστη ενέργεια παλμού | 0.5 - 1200 mJ | Μέχρι 2000 mJ (συντηρητικό) |
| Συχνότητα παλμού | 1 - 6000 Hz | Μέχρι 10 kHz (προσαρμοσμένο) |
| Μέση ισχύς | 5 - 300 W | Διαθέσιμη προσαρμοσμένη κλίμακα |
| Μέγεθος δέσμης (έξοδος) | 10 × 10 mm | Ορθογώνια δέσμη έως 50×50 mm (προσαρμοσμένη) |
| Ομοιογένεια δέσμης | < ± 3% (σ) | < ± 1% (προσαρμοσμένη οπτική) |
| Ενσωμάτωση παραγωγής | Η SMEMA/SECS/GEM | Προσαρμοσμένο πρωτόκολλο PLC (προσαρμοσμένο) |
- Επεξεργασία από πυρίτιο για προηγμένες οθόνες (LTPS)
- MEMS & διάτμηση σε τεμάχια ημιαγωγών
- Ενεργοποίηση επιφάνειας πολυμερών
- Μικροδιαρθρώσεις ιατροτεχνολογικών προϊόντων
- Ελαστική γεώτρηση PCB
Προσφέρουμεπλήρης προσαρμογήΕιδικότερα, η Επιτροπή διαπιστώνει ότι οι εν λόγω προδιαγραφές δεν εφαρμόζονται στην περίπτωση που οι εν λόγω προδιαγραφές δεν πληρούν τις προϋποθέσεις που ορίζονται στο άρθρο 2 παράγραφος 1 στοιχείο γ) του κανονισμού (ΕΚ) αριθ.Τα εξατομικευμένα όπλα παράδοσης δέσμης και τα περίβλημα κλάσης 1 είναι επίσης διαθέσιμα κατόπιν αιτήματος.
- > 2000 ώρες ζωής αερίου (βελτιωμένο μείγμα αερίων)
- Ενσωματωμένη σταθεροποίηση ενέργειας (ανάδραση σε πραγματικό χρόνο)
- Απομακρυσμένη διάγνωση και προγνωστική συντήρηση
- Χαμηλό κόστος ιδιοκτησίας (LOO) με λειτουργία εξοικονόμησης φυσικού αερίου με παράκαμψη
- Σύνθετο αρθρωτό σχεδιασμό για ταχεία αναδιάρθρωση γραμμής
- Τεχνική υποστήριξη 24 ώρες την ημέρα (τηλεφώνημα/απόσταση)
- Εγκατάσταση επί τόπου και ολοκλήρωση της παραγωγής
- Προσαρμοσμένη εκπαίδευση για τους μηχανικούς σας
- Παράταση εγγύησης έως 5 έτη
- Πρόγραμμα ανανέωσης του καυσίμου και της οπτικής
- Σφραγισμένο σε δοχείο με ελεγχόμενη υγρασία και αναισθητοποίηση
- Κουτί οπτικής υπό κενό
- Μεταφορά αεροπορικών ή θαλάσσιων μεταφορών με παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο
- Τα κιβώτια εξαγωγής πληρούν το πρότυπο ISPM-15